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Cours - 9P-420-PHO : Microsystèmes & Modélisation Multiphysique

Domaine > Photonique.

Descriptif

Ce module comprend un cours d'initiation aux microtechnologies, des cours/TD sur la modélisation des phénomènes physiques couplés dans les microsytèmes optiques par la méthode des éléments finis ainsi que des séances de travaux pratiques en salle blanche au cours desquels vous réaliserez et caractériserez un microsystème optique.

Objectifs pédagogiques

Au travers de l'étude théorique et expérimentale des microsystèmes optiques, ce module vise à l'acquisition des compétences suivantes:

- savoir intégrer la photonique aux autres dimensions du système (électronique, mécanique, thermique …) 

- Mettre en oeuvre la démarche scientifique (comprendre les théories, les phénomènes physiques) 

- Modéliser des phénomènes physiques et des systèmes réels

- Réaliser des expérimentations

- Rédiger des documents scientifiques (initiation à la rédaction d'un article scientifique)

Format des notes

Numérique sur 20

Littérale/grade réduit

Pour les étudiants du diplôme Diplôme d'ingénieur de l'Institut d'Optique Théorique et Appliquée - Master of Science in Engineering

Vos modalités d'acquisition :

1 évaluation sous forme de rapport (compte-rendu sous forme d'article scientifique du travail effecté en TP et en simulation sous COMSOL du dispositif réalisé).

Le rattrapage est autorisé (Note de rattrapage conservée écrêtée à une note seuil)
  • le rattrapage est obligatoire si :
    Note initiale < 10
L'UE est acquise si Note finale >= 10
  • Crédits ECTS acquis : 2 ECTS

Le coefficient de l'UE est : 2

La note obtenue rentre dans le calcul de votre GPA.

Programme détaillé

Cours  : Initiation aux microtechnologies. Introduction aux diverses technologies utilisées pour réaliser des microsystèmes (dépôt de films minces, gravure, photolithographie, procédé spécifiques MEMS, ...)

Cours/TD  : Modélisation des phénomènes physiques couplés dans les microsytèmes optiques par la méthode des éléments finis : éléments théoriques et applications avec le logiciel COMSOL-Multiphysics

Cette partie du module est répartie sur 5 séances de 3H avec cours+TD intégré :

1. Généralités sur la modélisation multiphysique

2. Méthode des éléments finis 

3. Modélisation des phénomènes électromagnétiques

4. Modélisation thermique et couplage champ électromagnétique-thermique

5. Modélisation mécanique et couplage électro-thermo-mécanique 

 Travaux Pratiques : Réalisation d’un microsystème optique à la Plateforme de Technologie Commune Thales TRT/X/IOGS   

Mots clés

MOEMS, MEMS
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